Microeletrónica I

Caracterização geral

Pré-requisitos

A disponibilizar brevemente

Bibliografia

-       R. Jaeger "Introduction to Microelectronic Fabrication", Addison Wesley Publishing Company (1993)

-      Elementos fornecidos nas aulas.

Método de ensino

Os conteúdos programáticos da UC serão leccionados de acordo com um método expositivo (com a apresentação de diapositivos/Datashow), promovendo a interacção, o diálogo orientado e a discussão com os alunos nas aulas, dinamizando a acção pedagógica. As aulas teóricas serão complementadas com a realização laboratorial de 5 trabalhos práticos, promovendo desta forma uma forte ligação entre a teoria e a prática.

Método de avaliação

Sistema de avaliação:

 Testes (pesos relativos)

- Parte teórica: 50%

- Parte prática: 50%

Condições para dispensa de Exames

- Média dos testes não inferior a 10 (9,5) valores.

Frequência na Disciplina

Nota igual ou superior a 10 valores no relatório final

É valida por um ano

Nota Final

50% média dos Testes* + 50% nota TPs 

ou

50% nota de Exame* + 50% nota TPs

 (*) - Se esta nota for inferior a 9,5 valores então a nota final não entra em conta com os TPs.

Conteúdo

Aulas teórico/Práticas

Capítulo 1 - Perspectiva sobre os processos de Microelectrónica.

Capítulo 2 - Litografia.

Capítulo 3 - Crescimento de Monocristais.

Capítulo 4 - Óxidação Térmica.

Capítulo 5 - Difusão.

Capítulo 6 - Implantação Iónica.

Capítulo 7 - Deposição de filmes finos.

Capítulo 8 - Contactos e interligações.

Capítulo 9 - Encapsulamento.

Aulas laboratório

Fabrico de díodos e transístores MOS de silício cristalino

Trabalho prático 1 – Oxidação térmica e litografia

Trabalho prático 2 – Difusão

Trabalho prático 3 – Oxidação térmica II e litografia II

Trabalho prático 4 – Deposição de contactos metálicos e litografia III

Trabalho prático 5 – Caracterização eléctrica dos dispositivos

Cursos

Cursos onde a unidade curricular é leccionada: