Microeletrónica I
Objetivos
A Disciplina de Microeletrónica I tem por objectivo dar a conhecer aos alunos os fundamentos teóricos e práticos dos materiais e processos utilizados na indústria de semicondutores e da microelectrónica, com especial incidência no fabrico de dispositivos.
Caracterização geral
Código
11044
Créditos
6.0
Professor responsável
Pedro Miguel Cândido Barquinha
Horas
Semanais - 6
Totais - A disponibilizar brevemente
Idioma de ensino
Português
Pré-requisitos
A disponibilizar brevemente
Bibliografia
- R. Jaeger "Introduction to Microelectronic Fabrication", Addison Wesley Publishing Company (1993)
- S. Franssila "Introduction to Microfabrication", 2nd Edition, Wiley (2010)
- Elementos fornecidos nas aulas.
Método de ensino
Os conteúdos programáticos da UC serão leccionados de acordo com um método expositivo (com a apresentação de diapositivos/Datashow), promovendo a interacção, o diálogo orientado e a discussão com os alunos nas aulas, dinamizando a acção pedagógica. As aulas teóricas serão complementadas com a realização laboratorial de 3 trabalhos práticos e resolução de múltiplos problemas, promovendo desta forma uma forte ligação entre a teoria e a prática.
Método de avaliação
Sistema de avaliação:
Testes (pesos relativos). Os testes são facultativos e serão realizados preferencialmente de forma presencial ou caso não seja possível, via Moodle.
- Parte teórica: 50%
- Parte prática: 50%
- Os alunos que não quiserem, ou não puderem, realizar os testes poderão realizar um exame na época de exames que substituirá o resultado dos testes.
- Classificações obtidas em regime de Avaliação à Distância iguais ou superiores a 15 valores poderão estar sujeitas a posterior prova oral
Condições para dispensa de Exame de recurso:
- Média dos testes >=9,5 valores.
Frequência na Disciplina
Nota >=9,5 valores no conjunto de:
- 3 fichas em grupo sobre os trabalhos laboratoriais (60 %)
- Problemas para resolver individualmente ao longo do semestre (20 %)
- Respostas individuais a questões científicas e tecnológicas relacionadas com os tópicos da UC, lançadas via Moodle ao longo do semestre (20 %)
A frequência é válida por um ano.
Nota Final
50% média dos Testes* + 50% nota TPs (fichas laboratoriais, problemas, respostas a questões do Moodle, ver detalhes na secção "Frequência")
ou
50% nota de Exame* + 50% nota TPs (fichas laboratoriais, problemas, respostas a questões do Moodle, ver detalhes na secção "Frequência")
(*) - Se esta nota for inferior a 9,5 valores então a nota final não entra em conta com a TP.
Conteúdo
Aulas teórico/Práticas
Capítulo 1 - Perspectiva sobre os processos de Microelectrónica.
Capítulo 2 - Crescimento de Monocristais.
Capítulo 3 - Óxidação Térmica.
Capítulo 6 - Difusão.
Capítulo 7 - Implantação Iónica.
Capítulo 8 - Deposição de filmes finos.
Capítulo 9 - Contactos e interligações.
Capítulo 10 - Futuro da microeletrónica.
Aulas laboratório
Processos em microeletrónica
Trabalho prático 1 – Oxidação térmica
Trabalho prático 2 – Fotolitografia e Difusão
Trabalho prático 3 – Caracterização de junção pn
Cursos
Cursos onde a unidade curricular é leccionada: