Microeletrónica: Processos
Objetivos
A Disciplina de Microeletrónica: Processos tem por objectivo dar a conhecer aos alunos os fundamentos teóricos e práticos dos materiais e processos utilizados na indústria de semicondutores e da microelectrónica, com especial incidência no fabrico de dispositivos.
Caracterização geral
Código
12696
Créditos
6.0
Professor responsável
Luís Miguel Nunes Pereira
Horas
Semanais - 5
Totais - 80
Idioma de ensino
Português
Pré-requisitos
Conhecimentos básicos de Física, Química e Matemática.
Bibliografia
- R. Jaeger "Introduction to Microelectronic Fabrication", Addison Wesley Publishing Company (1993)
- Elementos fornecidos nas aulas
Método de ensino
Os conteúdos programáticos da UC serão leccionados de acordo com um método expositivo (com a apresentação de diapositivos/Datashow), promovendo a interacção, o diálogo orientado e a discussão com os alunos nas aulas, dinamizando a acção pedagógica. As aulas teóricas serão complementadas com a realização laboratorial de 5 trabalhos práticos, promovendo desta forma uma forte ligação entre a teoria e a prática.
Método de avaliação
Sistema de avaliação:
Testes (pesos relativos)
- Parte teórica: 50% (média dos testes ou exame + até 10% majoração com participação nas discussões das aulas TP 10%)
- Parte prática: 50% (2 questionários individuais 50% + 1 questionário individual 40% + resolução de problemas propostos 10%)
Condições para dispensa de Exames
- Média dos testes não inferior a 10 (9,5) valores.
Frequência na Disciplina
Nota igual ou superior a 10 valores na componente prática
É valida por um ano
Nota Final
50% média dos Testes* + 50% nota prática
ou
50% nota de Exame* + 50% nota prática
(*) - Se esta nota for inferior a 9,5 valores então a nota final não entra em conta com a componente prática.
Aos alunos com média final superior a 15 valores pode ser solicitada uma prova oral para defesa da classificação final.
Conteúdo
Aulas teórico/Práticas
Capítulo 1 - Perspectiva sobre os processos de Microelectrónica.
Capítulo 2 - Litografia.
Capítulo 3 - Crescimento de Monocristais.
Capítulo 4 - Óxidação Térmica.
Capítulo 5 - Difusão.
Capítulo 6 - Implantação Iónica.
Capítulo 7 - Deposição de filmes finos.
Capítulo 8 - Contactos e interligações.
Capítulo 9 - Encapsulamento.
Aulas laboratório
Fabrico de díodos e transístores MOS de silício cristalino
Trabalho prático 1 – Oxidação térmica e litografia
Trabalho prático 2 – Difusão
Trabalho prático 3 – Oxidação térmica II e litografia II
Trabalho prático 4 – Deposição de contactos metálicos e litografia III
Trabalho prático 5 – Caracterização eléctrica dos dispositivos
Cursos
Cursos onde a unidade curricular é leccionada: