Microeletrónica: Processos

Caracterização geral

Pré-requisitos

Conhecimentos básicos de Física, Química e Matemática.

Bibliografia

-       R. Jaeger "Introduction to Microelectronic Fabrication", Addison Wesley Publishing Company (1993)

-      Elementos fornecidos nas aulas

Método de ensino

Os conteúdos programáticos da UC serão leccionados de acordo com um método expositivo (com a apresentação de diapositivos/Datashow), promovendo a interacção, o diálogo orientado e a discussão com os alunos nas aulas, dinamizando a acção pedagógica. As aulas teóricas serão complementadas com a realização laboratorial de 5 trabalhos práticos, promovendo desta forma uma forte ligação entre a teoria e a prática.

Método de avaliação

Sistema de avaliação:

Componente teórica

Dois testes (eletivos) – 75%
Testes de "aferição" realizados durante as aulas – 25%
Ou
Exame

A pontuação na avaliação contínua ou exame deve ser >=9,5/20

Componente prática - "Frequência":
•Questionários (resolvidos em grupo) sobre o trabalho de laboratório com apresentação oral e discussão (75%)
•Exercícios a resolver pelos alunos durante o semestre (25%)

A pontuação deve ser >=9,5/20 na componente prática:

Nota Final:
50% média de avaliação contínua (ou Exame) + 50% componente prática

Conteúdo

Aulas teórico-práticas

1 - Crescimento de Monocristais
2 - Oxidação Térmica
3 - Litografia
4 - Difusão
5 - Implantação Iónica
6 - Erosão
7 - Deposição de filmes finos (PVD e CVD)
9 - Contactos e interligações
10 – Melhoria de desempenho

Aulas práticas

Exercícios

1 – Crescimento de cristais

2 - Oxidação Térmica.

3 – Litografia e gravura

4 – Difusão

5 – Implantação iónica

Aulas de Laboratório

1 – Oxidação Térmica

2 – Litografia

3 - Gravura

4 – Difusão

5 – Metalização 

6 - Caracterização

Exercícios1–Crescimentodecristais2-OxidaçãoTérmica.3–Litografiaegravura4–Difusão5–ImplantaçãoiónicaAulasdeLaboratório1–OxidaçãoTérmica2–Litografia3-Gravura4–Difusão5–Metalização6-Caracterização

Cursos

Cursos onde a unidade curricular é leccionada: