Microeletrónica
Objetivos
A Disciplina de Microeletrónica: Processos tem por objectivo dar a conhecer aos alunos os fundamentos teóricos e práticos dos materiais e processos utilizados na indústria de semicondutores e da microelectrónica, com especial incidência no fabrico de dispositivos.
Caracterização geral
Código
12728
Créditos
6.0
Professor responsável
A disponibilizar brevemente
Horas
Semanais - A disponibilizar brevemente
Totais - 80
Idioma de ensino
Português
Pré-requisitos
Conhecimentos básicos de Física, Química e Matemática.
Bibliografia
- R. Jaeger "Introduction to Microelectronic Fabrication", Addison Wesley Publishing Company (1993)
- Elementos fornecidos nas aulas
Método de ensino
A disponibilizar brevemente
Método de avaliação
A disponibilizar brevemente
Conteúdo
Aulas teórico/Práticas
Capítulo 1 - Perspectiva sobre os processos de Microelectrónica.
Capítulo 2 - Litografia.
Capítulo 3 - Crescimento de Monocristais.
Capítulo 4 - Óxidação Térmica.
Capítulo 5 - Difusão.
Capítulo 6 - Implantação Iónica.
Capítulo 7 - Deposição de filmes finos.
Capítulo 8 - Contactos e interligações.
Capítulo 9 - Encapsulamento.
Aulas laboratório
Fabrico de díodos e transístores MOS de silício cristalino
Trabalho prático 1 – Oxidação térmica e litografia
Trabalho prático 2 – Difusão
Trabalho prático 3 – Oxidação térmica II e litografia II
Trabalho prático 4 – Deposição de contactos metálicos e litografia III
Trabalho prático 5 – Caracterização eléctrica dos dispositivos